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    [80,80,"S 39",0.02,20.81,79.13,0.04,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 9/EDS-Daten",1900,50],
    [81,81,"S 40",0,21.64,78.36,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 9/EDS-Daten",1950,50],
    [82,82,"S 41",0,21.42,78.28,0.3,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 9/EDS-Daten",2000,50],
    [83,83,"S 1",0.06,0,86.24,13.69,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",0,100],
    [84,84,"S 2",0,0.07,86.87,13.06,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",50,100],
    [85,85,"S 3",0,0,86.45,13.55,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",100,100],
    [86,86,"S 4",0,0.07,86.1,13.83,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",150,100],
    [87,87,"S 5",0,0,85.66,14.34,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",200,100],
    [88,88,"S 6",0.03,0,85.76,14.21,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",250,100],
    [89,89,"S 7",0,0.01,86.75,13.24,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",300,100],
    [90,90,"S 8",0,0.01,86.95,13.04,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",350,100],
    [91,91,"S 9",0.03,0.07,86.6,13.3,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",400,100],
    [92,92,"S 10",0.04,0.07,86.65,13.23,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",450,100],
    [93,93,"S 11",0,0,87.07,12.93,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",500,100],
    [94,94,"S 12",0,0.02,87.3,12.68,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",550,100],
    [95,95,"S 13",0,0.04,86.44,13.51,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",600,100],
    [96,96,"S 14",0.48,0.34,90.33,8.85,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",650,100],
    [97,97,"S 15",0.08,0,87.32,12.6,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",700,100],
    [98,98,"S 16",0,0,87.24,12.76,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",750,100],
    [99,99,"S 17",0.04,0.1,86.81,13.05,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",800,100],
    [100,100,"S 18",0,0,86.65,13.35,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",850,100],
    [101,101,"S 19",0.03,0,86.63,13.34,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",900,100],
    [102,102,"S 20",0.04,0,86.84,13.12,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",950,100],
    [103,103,"S 21",0,4.9,87.86,7.24,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",1000,100],
    [104,104,"S 22",0.01,20.74,79.17,0.08,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",1050,100],
    [105,105,"S 23",0.02,20.39,79.58,0.01,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",1100,100],
    [106,106,"S 24",0,20.42,79.55,0.03,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",1150,100],
    [107,107,"S 25",0,20.1,79.9,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",1200,100],
    [108,108,"S 26",0,20.23,79.77,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",1250,100],
    [109,109,"S 27",0,20.2,79.65,0.14,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",1300,100],
    [110,110,"S 28",0,20.46,79.43,0.11,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",1350,100],
    [111,111,"S 29",0.01,20.9,78.95,0.14,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",1400,100],
    [112,112,"S 30",0,21.05,78.87,0.08,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",1450,100],
    [113,113,"S 31",0.07,21.18,78.72,0.04,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",1500,100],
    [114,114,"S 32",0,20.98,79.02,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",1550,100],
    [115,115,"S 33",0.01,20.76,79.2,0.03,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",1600,100],
    [116,116,"S 34",0.01,20.13,79.86,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",1650,100],
    [117,117,"S 35",0.03,20.21,79.7,0.05,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",1700,100],
    [118,118,"S 36",0.06,20.31,79.62,0.01,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",1750,100],
    [119,119,"S 37",0,20.86,79.14,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",1800,100],
    [120,120,"S 38",0,20.58,79.25,0.17,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",1850,100],
    [121,121,"S 39",0.02,21.26,78.69,0.03,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",1900,100],
    [122,122,"S 40",0.03,20.54,79.43,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",1950,100],
    [123,123,"S 41",0.03,21.05,78.93,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 8/EDS-Daten",2000,100],
    [124,124,"S 1",0,0.03,86.86,13.11,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",0,150],
    [125,125,"S 2",0,0,87.06,12.94,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",50,150],
    [126,126,"S 3",0.02,0.09,86.89,12.99,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",100,150],
    [127,127,"S 4",0.06,0,86.42,13.52,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",150,150],
    [128,128,"S 5",0,0.03,86.29,13.69,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",200,150],
    [129,129,"S 6",0,0,86.53,13.47,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",250,150],
    [130,130,"S 7",0.05,0.07,87.11,12.78,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",300,150],
    [131,131,"S 8",0.01,0.06,87.3,12.63,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",350,150],
    [132,132,"S 9",0.03,0.05,86.84,13.08,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",400,150],
    [133,133,"S 10",0,0,87.21,12.79,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",450,150],
    [134,134,"S 11",0,0.05,86.82,13.12,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",500,150],
    [135,135,"S 12",0,0,87.51,12.49,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",550,150],
    [136,136,"S 13",0,0,86.63,13.37,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",600,150],
    [137,137,"S 14",0.03,0,86.57,13.4,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",650,150],
    [138,138,"S 15",0,0,87.53,12.47,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",700,150],
    [139,139,"S 16",0.04,0,87.25,12.71,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",750,150],
    [140,140,"S 17",0,0.04,86.97,12.99,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",800,150],
    [141,141,"S 18",0.03,0,86.87,13.1,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",850,150],
    [142,142,"S 19",0,0,86.89,13.11,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",900,150],
    [143,143,"S 20",0,0,86.68,13.32,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",950,150],
    [144,144,"S 21",0,6.01,84.69,9.3,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",1000,150],
    [145,145,"S 22",0.03,20.6,79.35,0.02,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",1050,150],
    [146,146,"S 23",0.06,20.73,79.22,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",1100,150],
    [147,147,"S 24",0.02,21.01,78.83,0.14,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",1150,150],
    [148,148,"S 25",0.02,21.12,78.79,0.07,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",1200,150],
    [149,149,"S 26",0.02,21.09,78.75,0.15,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",1250,150],
    [150,150,"S 27",0,20.87,79.13,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",1300,150],
    [151,151,"S 28",0.04,20.18,79.67,0.11,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",1350,150],
    [152,152,"S 29",0.04,20.49,79.46,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",1400,150],
    [153,153,"S 30",0.01,20.6,79.34,0.04,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",1450,150],
    [154,154,"S 31",0.03,20.74,79.14,0.09,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",1500,150],
    [155,155,"S 32",0.03,20.47,79.4,0.11,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",1550,150],
    [156,156,"S 33",0.03,20.42,79.49,0.06,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",1600,150],
    [157,157,"S 34",0.02,20.68,79.27,0.03,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",1650,150],
    [158,158,"S 35",0.01,20.46,79.51,0.01,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",1700,150],
    [159,159,"S 36",0.02,20.94,79.04,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",1750,150],
    [160,160,"S 37",0.09,21.23,78.69,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",1800,150],
    [161,161,"S 38",0,20.26,79.74,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",1850,150],
    [162,162,"S 39",0,21.02,78.98,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",1900,150],
    [163,163,"S 40",0.02,20.68,79.23,0.07,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",1950,150],
    [164,164,"S 41",0.01,21.6,78.39,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 7/EDS-Daten",2000,150],
    [165,165,"S 1",0,0.03,86.52,13.45,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",0,200],
    [166,166,"S 2",0,0.02,87.35,12.63,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",50,200],
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    [168,168,"S 4",0.06,0.03,86.38,13.53,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",150,200],
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    [172,172,"S 8",0,0,87.08,12.92,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",350,200],
    [173,173,"S 9",0,0.03,86.93,13.04,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",400,200],
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    [175,175,"S 11",0,0.06,86.71,13.24,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",500,200],
    [176,176,"S 12",0,0,87.43,12.57,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",550,200],
    [177,177,"S 13",0,0.01,86.93,13.07,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",600,200],
    [178,178,"S 14",0,0,86.61,13.39,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",650,200],
    [179,179,"S 15",0.1,0.01,87.14,12.75,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",700,200],
    [180,180,"S 16",0.02,0.11,87.45,12.42,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",750,200],
    [181,181,"S 17",0,0.03,87.34,12.64,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",800,200],
    [182,182,"S 18",0,0.05,86.86,13.09,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",850,200],
    [183,183,"S 19",0,0,86.7,13.3,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",900,200],
    [184,184,"S 20",0.04,0,86.72,13.24,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",950,200],
    [185,185,"S 21",0,7.61,82.15,10.24,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",1000,200],
    [186,186,"S 22",0.06,20.27,79.67,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",1050,200],
    [187,187,"S 23",0.08,20.6,79.23,0.1,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",1100,200],
    [188,188,"S 24",0.02,20.78,79.21,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",1150,200],
    [189,189,"S 25",0.02,20.52,79.47,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",1200,200],
    [190,190,"S 26",0.09,20.58,79.33,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",1250,200],
    [191,191,"S 27",0.07,20.31,79.61,0.01,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",1300,200],
    [192,192,"S 28",0,20.44,79.49,0.07,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",1350,200],
    [193,193,"S 29",0.01,20.83,79.15,0.01,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",1400,200],
    [194,194,"S 30",0,20.83,79.15,0.02,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",1450,200],
    [195,195,"S 31",0.01,20.73,79.26,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",1500,200],
    [196,196,"S 32",0.03,20.48,79.4,0.09,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",1550,200],
    [197,197,"S 33",0,20.23,79.77,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",1600,200],
    [198,198,"S 34",0.01,20.08,79.66,0.25,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",1650,200],
    [199,199,"S 35",0.04,20.35,79.53,0.08,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",1700,200],
    [200,200,"S 36",0.06,20.58,79.3,0.06,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",1750,200],
    [201,201,"S 37",0,20.8,79.2,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",1800,200],
    [202,202,"S 38",0.05,21.28,78.67,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",1850,200],
    [203,203,"S 39",0,20.72,79.28,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",1900,200],
    [204,204,"S 40",0.05,20.69,79.08,0.19,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 2, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 2/Liniendaten 6/EDS-Daten",1950,200],
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