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    [80,80,"S 39",21.32,0.05,78.47,0.16,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 4/EDS-Daten",1900,50],
    [81,81,"S 40",21.58,0.02,78.35,0.05,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 4/EDS-Daten",1950,50],
    [82,82,"S 41",21.43,0.01,78.54,0.03,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 4/EDS-Daten",2000,50],
    [83,83,"S 1",0.03,0.06,86.74,13.17,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 3/EDS-Daten",0,100],
    [84,84,"S 2",0,0,87.34,12.66,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 3/EDS-Daten",50,100],
    [85,85,"S 3",0,0.06,87.2,12.74,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 3/EDS-Daten",100,100],
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    [113,113,"S 31",21.52,0,78.45,0.03,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 3/EDS-Daten",1500,100],
    [114,114,"S 32",21.44,0.03,78.47,0.06,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 3/EDS-Daten",1550,100],
    [115,115,"S 33",21.31,0.03,78.48,0.17,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 3/EDS-Daten",1600,100],
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    [132,132,"S 9",0,0,87.39,12.61,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 2/EDS-Daten",400,150],
    [133,133,"S 10",0,0.04,87.34,12.62,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 2/EDS-Daten",450,150],
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    [145,145,"S 22",21.64,0.05,78.31,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 2/EDS-Daten",1050,150],
    [146,146,"S 23",21.52,0.01,78.47,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 2/EDS-Daten",1100,150],
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    [153,153,"S 30",21.44,0.11,78.41,0.04,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 2/EDS-Daten",1450,150],
    [154,154,"S 31",21.52,0,78.46,0.03,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 2/EDS-Daten",1500,150],
    [155,155,"S 32",21.43,0.01,78.57,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 2/EDS-Daten",1550,150],
    [156,156,"S 33",21.5,0.07,78.43,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 2/EDS-Daten",1600,150],
    [157,157,"S 34",21.59,0.1,78.19,0.12,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 2/EDS-Daten",1650,150],
    [158,158,"S 35",21.53,0,78.44,0.03,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 2/EDS-Daten",1700,150],
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    [161,161,"S 38",21.42,0,78.58,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 2/EDS-Daten",1850,150],
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    [197,197,"S 33",21.34,0.01,78.64,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 1/EDS-Daten",1600,200],
    [198,198,"S 34",21.82,0.06,78.11,0,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 1/EDS-Daten",1650,200],
    [199,199,"S 35",21.29,0.07,78.62,0.02,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 1/EDS-Daten",1700,200],
    [200,200,"S 36",21.65,0,78.2,0.15,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 1/EDS-Daten",1750,200],
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    [203,203,"S 39",21.46,0.03,78.43,0.07,100,"7F21109_D1_Diff_Ver/Probe 1/Fläche 1, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 1/Liniendaten 1/EDS-Daten",1900,200],
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