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163	163	21.15	0	78.79	0.06	100	7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 27, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 8/Liniendaten 33/EDS-Daten	1950	150
164	164	21.6	0	78.4	0	100	7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 27, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 8/Liniendaten 33/EDS-Daten	2000	150
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183	183	5.8	0.05	85.18	8.97	100	7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 27, Bereich a/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 8/Liniendaten 32/EDS-Daten	900	200
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