<data xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance">
<row _id="1"><ID>1</ID><Spektrumname>S 1</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.07</ni__wt__><cu__wt__>87.18</cu__wt__><sn__wt__>12.75</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>0</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="2"><ID>2</ID><Spektrumname>S 2</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>0.03</ni__wt__><cu__wt__>86.93</cu__wt__><sn__wt__>13.02</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>50</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="3"><ID>3</ID><Spektrumname>S 3</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.01</ni__wt__><cu__wt__>86.8</cu__wt__><sn__wt__>13.19</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>100</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="4"><ID>4</ID><Spektrumname>S 4</Spektrumname><mn__wt__>0.03</mn__wt__><ni__wt__>0.03</ni__wt__><cu__wt__>86.78</cu__wt__><sn__wt__>13.16</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>150</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="5"><ID>5</ID><Spektrumname>S 5</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>87.04</cu__wt__><sn__wt__>12.94</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>200</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="6"><ID>6</ID><Spektrumname>S 6</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>86.96</cu__wt__><sn__wt__>13.04</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>250</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="7"><ID>7</ID><Spektrumname>S 7</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.09</ni__wt__><cu__wt__>86.88</cu__wt__><sn__wt__>13.03</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>300</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="8"><ID>8</ID><Spektrumname>S 8</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.01</ni__wt__><cu__wt__>87.25</cu__wt__><sn__wt__>12.75</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>350</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="9"><ID>9</ID><Spektrumname>S 9</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.01</ni__wt__><cu__wt__>87.39</cu__wt__><sn__wt__>12.6</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>400</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="10"><ID>10</ID><Spektrumname>S 10</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>0.03</ni__wt__><cu__wt__>87.29</cu__wt__><sn__wt__>12.67</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>450</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="11"><ID>11</ID><Spektrumname>S 11</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>87.56</cu__wt__><sn__wt__>12.42</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>500</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="12"><ID>12</ID><Spektrumname>S 12</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>87.9</cu__wt__><sn__wt__>12.1</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>550</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="13"><ID>13</ID><Spektrumname>S 13</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.01</ni__wt__><cu__wt__>88.31</cu__wt__><sn__wt__>11.68</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>600</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="14"><ID>14</ID><Spektrumname>S 14</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>88.8</cu__wt__><sn__wt__>11.18</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>650</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="15"><ID>15</ID><Spektrumname>S 15</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.07</ni__wt__><cu__wt__>89.45</cu__wt__><sn__wt__>10.48</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>700</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="16"><ID>16</ID><Spektrumname>S 16</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>0.48</ni__wt__><cu__wt__>89.84</cu__wt__><sn__wt__>9.66</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>750</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="17"><ID>17</ID><Spektrumname>S 17</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>2.74</ni__wt__><cu__wt__>86.83</cu__wt__><sn__wt__>10.43</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>800</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="18"><ID>18</ID><Spektrumname>S 18</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>3.15</ni__wt__><cu__wt__>86.64</cu__wt__><sn__wt__>10.21</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>850</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="19"><ID>19</ID><Spektrumname>S 19</Spektrumname><mn__wt__>0.03</mn__wt__><ni__wt__>2.64</ni__wt__><cu__wt__>88.99</cu__wt__><sn__wt__>8.33</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>900</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="20"><ID>20</ID><Spektrumname>S 20</Spektrumname><mn__wt__>0.04</mn__wt__><ni__wt__>3.62</ni__wt__><cu__wt__>88.2</cu__wt__><sn__wt__>8.14</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>950</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="21"><ID>21</ID><Spektrumname>S 21</Spektrumname><mn__wt__>0.07</mn__wt__><ni__wt__>22.38</ni__wt__><cu__wt__>40.51</cu__wt__><sn__wt__>37.03</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1000</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="22"><ID>22</ID><Spektrumname>S 22</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>5.62</ni__wt__><cu__wt__>88.69</cu__wt__><sn__wt__>5.69</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1050</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="23"><ID>23</ID><Spektrumname>S 23</Spektrumname><mn__wt__>0.04</mn__wt__><ni__wt__>19.97</ni__wt__><cu__wt__>78.44</cu__wt__><sn__wt__>1.55</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1100</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="24"><ID>24</ID><Spektrumname>S 24</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>20.44</ni__wt__><cu__wt__>79.54</cu__wt__><sn__wt__>0.01</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1150</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="25"><ID>25</ID><Spektrumname>S 25</Spektrumname><mn__wt__>0.07</mn__wt__><ni__wt__>20.24</ni__wt__><cu__wt__>79.66</cu__wt__><sn__wt__>0.03</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1200</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="26"><ID>26</ID><Spektrumname>S 26</Spektrumname><mn__wt__>0.06</mn__wt__><ni__wt__>20.28</ni__wt__><cu__wt__>79.6</cu__wt__><sn__wt__>0.06</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1250</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="27"><ID>27</ID><Spektrumname>S 27</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>20.39</ni__wt__><cu__wt__>79.54</cu__wt__><sn__wt__>0.05</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1300</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="28"><ID>28</ID><Spektrumname>S 28</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>20.69</ni__wt__><cu__wt__>79.24</cu__wt__><sn__wt__>0.05</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1350</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="29"><ID>29</ID><Spektrumname>S 29</Spektrumname><mn__wt__>0.04</mn__wt__><ni__wt__>21.04</ni__wt__><cu__wt__>78.92</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1400</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="30"><ID>30</ID><Spektrumname>S 30</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>20.84</ni__wt__><cu__wt__>79.14</cu__wt__><sn__wt__>0.01</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1450</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="31"><ID>31</ID><Spektrumname>S 31</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>21.14</ni__wt__><cu__wt__>78.8</cu__wt__><sn__wt__>0.05</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1500</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="32"><ID>32</ID><Spektrumname>S 32</Spektrumname><mn__wt__>0.03</mn__wt__><ni__wt__>20.97</ni__wt__><cu__wt__>78.94</cu__wt__><sn__wt__>0.06</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1550</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="33"><ID>33</ID><Spektrumname>S 33</Spektrumname><mn__wt__>0.05</mn__wt__><ni__wt__>20.76</ni__wt__><cu__wt__>79.15</cu__wt__><sn__wt__>0.04</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1600</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="34"><ID>34</ID><Spektrumname>S 34</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>20.62</ni__wt__><cu__wt__>79.36</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1650</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="35"><ID>35</ID><Spektrumname>S 35</Spektrumname><mn__wt__>0.04</mn__wt__><ni__wt__>20.43</ni__wt__><cu__wt__>79.54</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1700</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="36"><ID>36</ID><Spektrumname>S 36</Spektrumname><mn__wt__>0.03</mn__wt__><ni__wt__>20.28</ni__wt__><cu__wt__>79.6</cu__wt__><sn__wt__>0.09</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1750</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="37"><ID>37</ID><Spektrumname>S 37</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>20.52</ni__wt__><cu__wt__>79.46</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1800</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="38"><ID>38</ID><Spektrumname>S 38</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>20.31</ni__wt__><cu__wt__>79.61</cu__wt__><sn__wt__>0.07</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1850</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="39"><ID>39</ID><Spektrumname>S 39</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>20.34</ni__wt__><cu__wt__>79.63</cu__wt__><sn__wt__>0.03</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1900</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="40"><ID>40</ID><Spektrumname>S 40</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>20.54</ni__wt__><cu__wt__>79.46</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1950</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="41"><ID>41</ID><Spektrumname>S 41</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>20.67</ni__wt__><cu__wt__>79.22</cu__wt__><sn__wt__>0.1</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 41/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>2000</x___m_><y___m_>0</y___m_></row>
<row _id="42"><ID>42</ID><Spektrumname>S 1</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>86.73</cu__wt__><sn__wt__>13.24</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>0</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="43"><ID>43</ID><Spektrumname>S 2</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>86.88</cu__wt__><sn__wt__>13.11</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>50</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="44"><ID>44</ID><Spektrumname>S 3</Spektrumname><mn__wt__>0.06</mn__wt__><ni__wt__>0.12</ni__wt__><cu__wt__>86.72</cu__wt__><sn__wt__>13.1</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>100</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="45"><ID>45</ID><Spektrumname>S 4</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.05</ni__wt__><cu__wt__>86.92</cu__wt__><sn__wt__>13.03</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>150</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="46"><ID>46</ID><Spektrumname>S 5</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>0.01</ni__wt__><cu__wt__>86.93</cu__wt__><sn__wt__>13.04</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>200</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="47"><ID>47</ID><Spektrumname>S 6</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.02</ni__wt__><cu__wt__>87</cu__wt__><sn__wt__>12.98</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>250</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="48"><ID>48</ID><Spektrumname>S 7</Spektrumname><mn__wt__>0.03</mn__wt__><ni__wt__>0.04</ni__wt__><cu__wt__>87.07</cu__wt__><sn__wt__>12.86</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>300</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="49"><ID>49</ID><Spektrumname>S 8</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>87.12</cu__wt__><sn__wt__>12.88</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>350</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="50"><ID>50</ID><Spektrumname>S 9</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>87.35</cu__wt__><sn__wt__>12.64</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>400</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="51"><ID>51</ID><Spektrumname>S 10</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>87.51</cu__wt__><sn__wt__>12.49</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>450</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="52"><ID>52</ID><Spektrumname>S 11</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>87.61</cu__wt__><sn__wt__>12.39</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>500</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="53"><ID>53</ID><Spektrumname>S 12</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>87.8</cu__wt__><sn__wt__>12.18</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>550</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="54"><ID>54</ID><Spektrumname>S 13</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>88.26</cu__wt__><sn__wt__>11.74</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>600</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="55"><ID>55</ID><Spektrumname>S 14</Spektrumname><mn__wt__>0.03</mn__wt__><ni__wt__>0.06</ni__wt__><cu__wt__>88.95</cu__wt__><sn__wt__>10.96</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>650</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="56"><ID>56</ID><Spektrumname>S 15</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.14</ni__wt__><cu__wt__>89.56</cu__wt__><sn__wt__>10.3</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>700</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="57"><ID>57</ID><Spektrumname>S 16</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>1.98</ni__wt__><cu__wt__>87.42</cu__wt__><sn__wt__>10.61</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>750</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="58"><ID>58</ID><Spektrumname>S 17</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>16.02</ni__wt__><cu__wt__>46.91</cu__wt__><sn__wt__>37.07</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>800</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="59"><ID>59</ID><Spektrumname>S 18</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>2.79</ni__wt__><cu__wt__>87.51</cu__wt__><sn__wt__>9.7</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>850</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="60"><ID>60</ID><Spektrumname>S 19</Spektrumname><mn__wt__>0.04</mn__wt__><ni__wt__>2.93</ni__wt__><cu__wt__>88.29</cu__wt__><sn__wt__>8.74</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>900</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="61"><ID>61</ID><Spektrumname>S 20</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>3.7</ni__wt__><cu__wt__>88.18</cu__wt__><sn__wt__>8.12</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>950</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="62"><ID>62</ID><Spektrumname>S 21</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>20.41</ni__wt__><cu__wt__>45.73</cu__wt__><sn__wt__>33.86</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1000</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="63"><ID>63</ID><Spektrumname>S 22</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>5.6</ni__wt__><cu__wt__>88.51</cu__wt__><sn__wt__>5.9</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1050</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="64"><ID>64</ID><Spektrumname>S 23</Spektrumname><mn__wt__>0.05</mn__wt__><ni__wt__>20.16</ni__wt__><cu__wt__>77.95</cu__wt__><sn__wt__>1.84</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1100</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="65"><ID>65</ID><Spektrumname>S 24</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>21.04</ni__wt__><cu__wt__>78.75</cu__wt__><sn__wt__>0.21</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1150</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="66"><ID>66</ID><Spektrumname>S 25</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>20.87</ni__wt__><cu__wt__>79.09</cu__wt__><sn__wt__>0.04</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1200</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="67"><ID>67</ID><Spektrumname>S 26</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>20.84</ni__wt__><cu__wt__>79.16</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1250</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="68"><ID>68</ID><Spektrumname>S 27</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>20.66</ni__wt__><cu__wt__>79.34</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1300</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="69"><ID>69</ID><Spektrumname>S 28</Spektrumname><mn__wt__>0.07</mn__wt__><ni__wt__>20.45</ni__wt__><cu__wt__>79.47</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1350</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="70"><ID>70</ID><Spektrumname>S 29</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>20.59</ni__wt__><cu__wt__>79.34</cu__wt__><sn__wt__>0.07</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1400</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="71"><ID>71</ID><Spektrumname>S 30</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>20.35</ni__wt__><cu__wt__>79.62</cu__wt__><sn__wt__>0.03</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1450</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="72"><ID>72</ID><Spektrumname>S 31</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>20.77</ni__wt__><cu__wt__>79.22</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1500</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="73"><ID>73</ID><Spektrumname>S 32</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>20.79</ni__wt__><cu__wt__>79.19</cu__wt__><sn__wt__>0.02</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1550</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="74"><ID>74</ID><Spektrumname>S 33</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>20.98</ni__wt__><cu__wt__>78.96</cu__wt__><sn__wt__>0.04</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1600</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="75"><ID>75</ID><Spektrumname>S 34</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>21</ni__wt__><cu__wt__>79</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1650</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="76"><ID>76</ID><Spektrumname>S 35</Spektrumname><mn__wt__>0.07</mn__wt__><ni__wt__>20.99</ni__wt__><cu__wt__>78.93</cu__wt__><sn__wt__>0.01</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1700</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="77"><ID>77</ID><Spektrumname>S 36</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>21.12</ni__wt__><cu__wt__>78.87</cu__wt__><sn__wt__>0.01</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1750</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="78"><ID>78</ID><Spektrumname>S 37</Spektrumname><mn__wt__>0.04</mn__wt__><ni__wt__>20.8</ni__wt__><cu__wt__>79.11</cu__wt__><sn__wt__>0.05</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1800</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="79"><ID>79</ID><Spektrumname>S 38</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>20.95</ni__wt__><cu__wt__>78.96</cu__wt__><sn__wt__>0.1</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1850</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="80"><ID>80</ID><Spektrumname>S 39</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>21.07</ni__wt__><cu__wt__>78.85</cu__wt__><sn__wt__>0.08</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1900</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="81"><ID>81</ID><Spektrumname>S 40</Spektrumname><mn__wt__>0.03</mn__wt__><ni__wt__>21.19</ni__wt__><cu__wt__>78.69</cu__wt__><sn__wt__>0.08</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1950</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="82"><ID>82</ID><Spektrumname>S 41</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>20.65</ni__wt__><cu__wt__>79.32</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 40/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>2000</x___m_><y___m_>50</y___m_></row>
<row _id="83"><ID>83</ID><Spektrumname>S 1</Spektrumname><mn__wt__>0.04</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>86.94</cu__wt__><sn__wt__>13.02</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>0</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="84"><ID>84</ID><Spektrumname>S 2</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>0.07</ni__wt__><cu__wt__>86.98</cu__wt__><sn__wt__>12.93</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>50</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="85"><ID>85</ID><Spektrumname>S 3</Spektrumname><mn__wt__>0.03</mn__wt__><ni__wt__>0.08</ni__wt__><cu__wt__>86.85</cu__wt__><sn__wt__>13.04</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>100</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="86"><ID>86</ID><Spektrumname>S 4</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.04</ni__wt__><cu__wt__>86.79</cu__wt__><sn__wt__>13.17</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>150</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="87"><ID>87</ID><Spektrumname>S 5</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>0.01</ni__wt__><cu__wt__>87.14</cu__wt__><sn__wt__>12.84</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>200</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="88"><ID>88</ID><Spektrumname>S 6</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.07</ni__wt__><cu__wt__>86.92</cu__wt__><sn__wt__>13.01</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>250</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="89"><ID>89</ID><Spektrumname>S 7</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.03</ni__wt__><cu__wt__>87.04</cu__wt__><sn__wt__>12.93</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>300</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="90"><ID>90</ID><Spektrumname>S 8</Spektrumname><mn__wt__>0.05</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>87.12</cu__wt__><sn__wt__>12.83</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>350</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="91"><ID>91</ID><Spektrumname>S 9</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>87.44</cu__wt__><sn__wt__>12.55</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>400</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="92"><ID>92</ID><Spektrumname>S 10</Spektrumname><mn__wt__>0.03</mn__wt__><ni__wt__>0.06</ni__wt__><cu__wt__>87.37</cu__wt__><sn__wt__>12.54</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>450</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="93"><ID>93</ID><Spektrumname>S 11</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>87.75</cu__wt__><sn__wt__>12.25</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>500</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="94"><ID>94</ID><Spektrumname>S 12</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>88.06</cu__wt__><sn__wt__>11.94</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>550</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="95"><ID>95</ID><Spektrumname>S 13</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.01</ni__wt__><cu__wt__>88.26</cu__wt__><sn__wt__>11.73</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>600</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="96"><ID>96</ID><Spektrumname>S 14</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>88.89</cu__wt__><sn__wt__>11.11</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>650</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="97"><ID>97</ID><Spektrumname>S 15</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>0.12</ni__wt__><cu__wt__>89.7</cu__wt__><sn__wt__>10.17</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>700</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="98"><ID>98</ID><Spektrumname>S 16</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>1.27</ni__wt__><cu__wt__>88.72</cu__wt__><sn__wt__>10.01</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>750</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="99"><ID>99</ID><Spektrumname>S 17</Spektrumname><mn__wt__>0.04</mn__wt__><ni__wt__>3.34</ni__wt__><cu__wt__>85.58</cu__wt__><sn__wt__>11.04</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>800</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="100"><ID>100</ID><Spektrumname>S 18</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>3.62</ni__wt__><cu__wt__>86.13</cu__wt__><sn__wt__>10.25</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>850</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="101"><ID>101</ID><Spektrumname>S 19</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>3.75</ni__wt__><cu__wt__>86.46</cu__wt__><sn__wt__>9.79</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>900</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="102"><ID>102</ID><Spektrumname>S 20</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>4.23</ni__wt__><cu__wt__>87.34</cu__wt__><sn__wt__>8.41</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>950</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="103"><ID>103</ID><Spektrumname>S 21</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>13.37</ni__wt__><cu__wt__>83.41</cu__wt__><sn__wt__>3.23</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1000</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="104"><ID>104</ID><Spektrumname>S 22</Spektrumname><mn__wt__>0.06</mn__wt__><ni__wt__>5.36</ni__wt__><cu__wt__>88.43</cu__wt__><sn__wt__>6.15</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1050</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="105"><ID>105</ID><Spektrumname>S 23</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>19.89</ni__wt__><cu__wt__>77.72</cu__wt__><sn__wt__>2.39</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1100</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="106"><ID>106</ID><Spektrumname>S 24</Spektrumname><mn__wt__>0.06</mn__wt__><ni__wt__>20.71</ni__wt__><cu__wt__>79.14</cu__wt__><sn__wt__>0.09</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1150</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="107"><ID>107</ID><Spektrumname>S 25</Spektrumname><mn__wt__>0.24</mn__wt__><ni__wt__>20.66</ni__wt__><cu__wt__>79.04</cu__wt__><sn__wt__>0.05</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1200</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="108"><ID>108</ID><Spektrumname>S 26</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>21.02</ni__wt__><cu__wt__>78.92</cu__wt__><sn__wt__>0.06</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1250</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="109"><ID>109</ID><Spektrumname>S 27</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>21.05</ni__wt__><cu__wt__>78.94</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1300</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="110"><ID>110</ID><Spektrumname>S 28</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>21.04</ni__wt__><cu__wt__>78.92</cu__wt__><sn__wt__>0.01</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1350</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="111"><ID>111</ID><Spektrumname>S 29</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>19.99</ni__wt__><cu__wt__>79.79</cu__wt__><sn__wt__>0.21</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1400</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="112"><ID>112</ID><Spektrumname>S 30</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>20.8</ni__wt__><cu__wt__>79.19</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1450</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="113"><ID>113</ID><Spektrumname>S 31</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>20.69</ni__wt__><cu__wt__>79.24</cu__wt__><sn__wt__>0.06</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1500</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="114"><ID>114</ID><Spektrumname>S 32</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>21.13</ni__wt__><cu__wt__>78.81</cu__wt__><sn__wt__>0.05</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1550</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="115"><ID>115</ID><Spektrumname>S 33</Spektrumname><mn__wt__>0.07</mn__wt__><ni__wt__>21.01</ni__wt__><cu__wt__>78.91</cu__wt__><sn__wt__>0.01</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1600</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="116"><ID>116</ID><Spektrumname>S 34</Spektrumname><mn__wt__>0.04</mn__wt__><ni__wt__>21.13</ni__wt__><cu__wt__>78.75</cu__wt__><sn__wt__>0.08</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1650</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="117"><ID>117</ID><Spektrumname>S 35</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>20.94</ni__wt__><cu__wt__>79.05</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1700</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="118"><ID>118</ID><Spektrumname>S 36</Spektrumname><mn__wt__>0.04</mn__wt__><ni__wt__>20.9</ni__wt__><cu__wt__>79.06</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1750</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="119"><ID>119</ID><Spektrumname>S 37</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>20.67</ni__wt__><cu__wt__>79.18</cu__wt__><sn__wt__>0.13</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1800</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="120"><ID>120</ID><Spektrumname>S 38</Spektrumname><mn__wt__>0.08</mn__wt__><ni__wt__>20.74</ni__wt__><cu__wt__>79.18</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1850</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="121"><ID>121</ID><Spektrumname>S 39</Spektrumname><mn__wt__>0.04</mn__wt__><ni__wt__>20.7</ni__wt__><cu__wt__>79.26</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1900</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="122"><ID>122</ID><Spektrumname>S 40</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>20.64</ni__wt__><cu__wt__>79.31</cu__wt__><sn__wt__>0.04</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1950</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="123"><ID>123</ID><Spektrumname>S 41</Spektrumname><mn__wt__>0.06</mn__wt__><ni__wt__>20.74</ni__wt__><cu__wt__>79.21</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 39/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>2000</x___m_><y___m_>100</y___m_></row>
<row _id="124"><ID>124</ID><Spektrumname>S 1</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>86.89</cu__wt__><sn__wt__>13.11</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>0</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="125"><ID>125</ID><Spektrumname>S 2</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.03</ni__wt__><cu__wt__>86.96</cu__wt__><sn__wt__>13</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>50</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="126"><ID>126</ID><Spektrumname>S 3</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.01</ni__wt__><cu__wt__>86.99</cu__wt__><sn__wt__>13</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>100</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="127"><ID>127</ID><Spektrumname>S 4</Spektrumname><mn__wt__>0.03</mn__wt__><ni__wt__>0.04</ni__wt__><cu__wt__>86.78</cu__wt__><sn__wt__>13.15</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>150</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="128"><ID>128</ID><Spektrumname>S 5</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>87.12</cu__wt__><sn__wt__>12.88</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>200</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="129"><ID>129</ID><Spektrumname>S 6</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.01</ni__wt__><cu__wt__>86.98</cu__wt__><sn__wt__>13.01</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>250</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="130"><ID>130</ID><Spektrumname>S 7</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.02</ni__wt__><cu__wt__>87.03</cu__wt__><sn__wt__>12.95</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>300</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="131"><ID>131</ID><Spektrumname>S 8</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>87.21</cu__wt__><sn__wt__>12.79</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>350</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="132"><ID>132</ID><Spektrumname>S 9</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>87.27</cu__wt__><sn__wt__>12.71</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>400</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="133"><ID>133</ID><Spektrumname>S 10</Spektrumname><mn__wt__>0.04</mn__wt__><ni__wt__>0.01</ni__wt__><cu__wt__>87.39</cu__wt__><sn__wt__>12.56</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>450</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="134"><ID>134</ID><Spektrumname>S 11</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>87.64</cu__wt__><sn__wt__>12.36</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>500</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="135"><ID>135</ID><Spektrumname>S 12</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>87.97</cu__wt__><sn__wt__>12.03</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>550</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="136"><ID>136</ID><Spektrumname>S 13</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>88.43</cu__wt__><sn__wt__>11.57</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>600</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="137"><ID>137</ID><Spektrumname>S 14</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.12</ni__wt__><cu__wt__>88.9</cu__wt__><sn__wt__>10.98</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>650</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="138"><ID>138</ID><Spektrumname>S 15</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>0.48</ni__wt__><cu__wt__>89.27</cu__wt__><sn__wt__>10.23</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>700</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="139"><ID>139</ID><Spektrumname>S 16</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>2.55</ni__wt__><cu__wt__>86.28</cu__wt__><sn__wt__>11.17</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>750</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="140"><ID>140</ID><Spektrumname>S 17</Spektrumname><mn__wt__>0.03</mn__wt__><ni__wt__>2.15</ni__wt__><cu__wt__>88.09</cu__wt__><sn__wt__>9.73</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>800</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="141"><ID>141</ID><Spektrumname>S 18</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>2.85</ni__wt__><cu__wt__>87.41</cu__wt__><sn__wt__>9.74</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>850</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="142"><ID>142</ID><Spektrumname>S 19</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>3.14</ni__wt__><cu__wt__>87.49</cu__wt__><sn__wt__>9.38</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>900</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="143"><ID>143</ID><Spektrumname>S 20</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>4.24</ni__wt__><cu__wt__>86.8</cu__wt__><sn__wt__>8.95</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>950</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="144"><ID>144</ID><Spektrumname>S 21</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>4.6</ni__wt__><cu__wt__>87.84</cu__wt__><sn__wt__>7.56</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1000</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="145"><ID>145</ID><Spektrumname>S 22</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>5.44</ni__wt__><cu__wt__>88.75</cu__wt__><sn__wt__>5.8</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1050</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="146"><ID>146</ID><Spektrumname>S 23</Spektrumname><mn__wt__>0.07</mn__wt__><ni__wt__>19.88</ni__wt__><cu__wt__>77.52</cu__wt__><sn__wt__>2.53</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1100</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="147"><ID>147</ID><Spektrumname>S 24</Spektrumname><mn__wt__>0.04</mn__wt__><ni__wt__>20.67</ni__wt__><cu__wt__>79.24</cu__wt__><sn__wt__>0.05</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1150</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="148"><ID>148</ID><Spektrumname>S 25</Spektrumname><mn__wt__>0.05</mn__wt__><ni__wt__>20.72</ni__wt__><cu__wt__>79.14</cu__wt__><sn__wt__>0.09</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1200</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="149"><ID>149</ID><Spektrumname>S 26</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>20.73</ni__wt__><cu__wt__>79.26</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1250</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="150"><ID>150</ID><Spektrumname>S 27</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>20.84</ni__wt__><cu__wt__>79.09</cu__wt__><sn__wt__>0.06</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1300</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="151"><ID>151</ID><Spektrumname>S 28</Spektrumname><mn__wt__>0.06</mn__wt__><ni__wt__>21.05</ni__wt__><cu__wt__>78.76</cu__wt__><sn__wt__>0.14</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1350</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="152"><ID>152</ID><Spektrumname>S 29</Spektrumname><mn__wt__>0.05</mn__wt__><ni__wt__>20.8</ni__wt__><cu__wt__>79.09</cu__wt__><sn__wt__>0.06</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1400</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="153"><ID>153</ID><Spektrumname>S 30</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>20.6</ni__wt__><cu__wt__>79.4</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1450</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="154"><ID>154</ID><Spektrumname>S 31</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>20.99</ni__wt__><cu__wt__>78.96</cu__wt__><sn__wt__>0.05</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1500</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="155"><ID>155</ID><Spektrumname>S 32</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>20.79</ni__wt__><cu__wt__>79.2</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1550</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="156"><ID>156</ID><Spektrumname>S 33</Spektrumname><mn__wt__>0.03</mn__wt__><ni__wt__>20.71</ni__wt__><cu__wt__>79.26</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1600</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="157"><ID>157</ID><Spektrumname>S 34</Spektrumname><mn__wt__>0.03</mn__wt__><ni__wt__>20.43</ni__wt__><cu__wt__>79.54</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1650</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="158"><ID>158</ID><Spektrumname>S 35</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>20.59</ni__wt__><cu__wt__>79.39</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1700</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="159"><ID>159</ID><Spektrumname>S 36</Spektrumname><mn__wt__>0.04</mn__wt__><ni__wt__>20.6</ni__wt__><cu__wt__>79.24</cu__wt__><sn__wt__>0.12</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1750</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="160"><ID>160</ID><Spektrumname>S 37</Spektrumname><mn__wt__>0.04</mn__wt__><ni__wt__>20.71</ni__wt__><cu__wt__>79.25</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1800</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="161"><ID>161</ID><Spektrumname>S 38</Spektrumname><mn__wt__>0.07</mn__wt__><ni__wt__>20.55</ni__wt__><cu__wt__>79.38</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1850</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="162"><ID>162</ID><Spektrumname>S 39</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>20.48</ni__wt__><cu__wt__>79.5</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1900</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="163"><ID>163</ID><Spektrumname>S 40</Spektrumname><mn__wt__>0.1</mn__wt__><ni__wt__>20.72</ni__wt__><cu__wt__>79.17</cu__wt__><sn__wt__>0.01</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1950</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="164"><ID>164</ID><Spektrumname>S 41</Spektrumname><mn__wt__>0.04</mn__wt__><ni__wt__>20.69</ni__wt__><cu__wt__>79.22</cu__wt__><sn__wt__>0.05</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 38/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>2000</x___m_><y___m_>150</y___m_></row>
<row _id="165"><ID>165</ID><Spektrumname>S 1</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>0.07</ni__wt__><cu__wt__>88.37</cu__wt__><sn__wt__>11.56</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>0</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="166"><ID>166</ID><Spektrumname>S 2</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>87.03</cu__wt__><sn__wt__>12.97</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>50</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="167"><ID>167</ID><Spektrumname>S 3</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>86.95</cu__wt__><sn__wt__>13.05</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>100</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="168"><ID>168</ID><Spektrumname>S 4</Spektrumname><mn__wt__>0.08</mn__wt__><ni__wt__>0.05</ni__wt__><cu__wt__>86.96</cu__wt__><sn__wt__>12.92</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>150</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="169"><ID>169</ID><Spektrumname>S 5</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>87.01</cu__wt__><sn__wt__>12.99</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>200</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="170"><ID>170</ID><Spektrumname>S 6</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.04</ni__wt__><cu__wt__>86.98</cu__wt__><sn__wt__>12.97</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>250</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="171"><ID>171</ID><Spektrumname>S 7</Spektrumname><mn__wt__>0.03</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>87.14</cu__wt__><sn__wt__>12.83</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>300</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="172"><ID>172</ID><Spektrumname>S 8</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>0.02</ni__wt__><cu__wt__>87.18</cu__wt__><sn__wt__>12.78</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>350</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="173"><ID>173</ID><Spektrumname>S 9</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>87.32</cu__wt__><sn__wt__>12.68</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>400</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="174"><ID>174</ID><Spektrumname>S 10</Spektrumname><mn__wt__>0.04</mn__wt__><ni__wt__>0.04</ni__wt__><cu__wt__>87.46</cu__wt__><sn__wt__>12.47</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>450</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="175"><ID>175</ID><Spektrumname>S 11</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0.02</ni__wt__><cu__wt__>87.76</cu__wt__><sn__wt__>12.22</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>500</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="176"><ID>176</ID><Spektrumname>S 12</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>0.02</ni__wt__><cu__wt__>87.94</cu__wt__><sn__wt__>12.03</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>550</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="177"><ID>177</ID><Spektrumname>S 13</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>0</ni__wt__><cu__wt__>88.63</cu__wt__><sn__wt__>11.37</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>600</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="178"><ID>178</ID><Spektrumname>S 14</Spektrumname><mn__wt__>0.05</mn__wt__><ni__wt__>0.26</ni__wt__><cu__wt__>88.76</cu__wt__><sn__wt__>10.93</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>650</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="179"><ID>179</ID><Spektrumname>S 15</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>1.7</ni__wt__><cu__wt__>87.17</cu__wt__><sn__wt__>11.13</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>700</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="180"><ID>180</ID><Spektrumname>S 16</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>2.25</ni__wt__><cu__wt__>86.89</cu__wt__><sn__wt__>10.85</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>750</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="181"><ID>181</ID><Spektrumname>S 17</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>2.11</ni__wt__><cu__wt__>87.72</cu__wt__><sn__wt__>10.17</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>800</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="182"><ID>182</ID><Spektrumname>S 18</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>3.33</ni__wt__><cu__wt__>86.57</cu__wt__><sn__wt__>10.1</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>850</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="183"><ID>183</ID><Spektrumname>S 19</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>3.83</ni__wt__><cu__wt__>86.44</cu__wt__><sn__wt__>9.73</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>900</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="184"><ID>184</ID><Spektrumname>S 20</Spektrumname><mn__wt__>0.04</mn__wt__><ni__wt__>4.02</ni__wt__><cu__wt__>87.05</cu__wt__><sn__wt__>8.88</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>950</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="185"><ID>185</ID><Spektrumname>S 21</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>4.56</ni__wt__><cu__wt__>88.03</cu__wt__><sn__wt__>7.4</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1000</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="186"><ID>186</ID><Spektrumname>S 22</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>6.08</ni__wt__><cu__wt__>85.94</cu__wt__><sn__wt__>7.98</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1050</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="187"><ID>187</ID><Spektrumname>S 23</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>19.45</ni__wt__><cu__wt__>76.41</cu__wt__><sn__wt__>4.12</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1100</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="188"><ID>188</ID><Spektrumname>S 24</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>20.59</ni__wt__><cu__wt__>79.41</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1150</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="189"><ID>189</ID><Spektrumname>S 25</Spektrumname><mn__wt__>0.06</mn__wt__><ni__wt__>20.4</ni__wt__><cu__wt__>79.46</cu__wt__><sn__wt__>0.08</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1200</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="190"><ID>190</ID><Spektrumname>S 26</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>20.56</ni__wt__><cu__wt__>79.42</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1250</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="191"><ID>191</ID><Spektrumname>S 27</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>20.43</ni__wt__><cu__wt__>79.47</cu__wt__><sn__wt__>0.11</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1300</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="192"><ID>192</ID><Spektrumname>S 28</Spektrumname><mn__wt__>0.07</mn__wt__><ni__wt__>20.3</ni__wt__><cu__wt__>79.48</cu__wt__><sn__wt__>0.15</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1350</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="193"><ID>193</ID><Spektrumname>S 29</Spektrumname><mn__wt__>0.06</mn__wt__><ni__wt__>20.3</ni__wt__><cu__wt__>79.62</cu__wt__><sn__wt__>0.02</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1400</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="194"><ID>194</ID><Spektrumname>S 30</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>20.33</ni__wt__><cu__wt__>79.58</cu__wt__><sn__wt__>0.09</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1450</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="195"><ID>195</ID><Spektrumname>S 31</Spektrumname><mn__wt__>0.01</mn__wt__><ni__wt__>20.06</ni__wt__><cu__wt__>79.84</cu__wt__><sn__wt__>0.09</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1500</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="196"><ID>196</ID><Spektrumname>S 32</Spektrumname><mn__wt__>0.05</mn__wt__><ni__wt__>20.35</ni__wt__><cu__wt__>79.6</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1550</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="197"><ID>197</ID><Spektrumname>S 33</Spektrumname><mn__wt__>0.06</mn__wt__><ni__wt__>20.17</ni__wt__><cu__wt__>79.73</cu__wt__><sn__wt__>0.04</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1600</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="198"><ID>198</ID><Spektrumname>S 34</Spektrumname><mn__wt__>0.04</mn__wt__><ni__wt__>21.13</ni__wt__><cu__wt__>78.83</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1650</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="199"><ID>199</ID><Spektrumname>S 35</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>20.95</ni__wt__><cu__wt__>79.01</cu__wt__><sn__wt__>0.03</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1700</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="200"><ID>200</ID><Spektrumname>S 36</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>21.22</ni__wt__><cu__wt__>78.78</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1750</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="201"><ID>201</ID><Spektrumname>S 37</Spektrumname><mn__wt__>0</mn__wt__><ni__wt__>20.68</ni__wt__><cu__wt__>79.17</cu__wt__><sn__wt__>0.14</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1800</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="202"><ID>202</ID><Spektrumname>S 38</Spektrumname><mn__wt__>0.05</mn__wt__><ni__wt__>20.53</ni__wt__><cu__wt__>79.42</cu__wt__><sn__wt__>0</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1850</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="203"><ID>203</ID><Spektrumname>S 39</Spektrumname><mn__wt__>0.04</mn__wt__><ni__wt__>20.72</ni__wt__><cu__wt__>79.19</cu__wt__><sn__wt__>0.05</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1900</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="204"><ID>204</ID><Spektrumname>S 40</Spektrumname><mn__wt__>0.02</mn__wt__><ni__wt__>20.34</ni__wt__><cu__wt__>79.56</cu__wt__><sn__wt__>0.08</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>1950</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
<row _id="205"><ID>205</ID><Spektrumname>S 41</Spektrumname><mn__wt__>0.1</mn__wt__><ni__wt__>20.39</ni__wt__><cu__wt__>79.42</cu__wt__><sn__wt__>0.08</sn__wt__><gesamt__wt__>100</gesamt__wt__><Projektpfad>7F21109_D1_Diff_exp. 2/Probe 3/Fläche 28, Bereich b/Felder/Arbeitsbereich 1/Mehrere Liniendaten 9/Liniendaten 37/EDS-Daten</Projektpfad><x___m_>2000</x___m_><y___m_>200</y___m_></row>
</data>
